工業(yè) 備件
品牌:富士金(Fujikin)
型號(hào):NFPR-ND-71-6.35-2
產(chǎn)品類型:氣動(dòng)截止型金屬隔膜閥(常閉型)
通徑尺寸:6.35mm (1/4" OD)
流量系數(shù)(Cv值):0.3
主體材質(zhì):不銹鋼 SUS316L(雙熔煉高純材質(zhì))
閥座材質(zhì):PCTFE(聚三氟氯乙烯,標(biāo)準(zhǔn)配置)
端部連接方式:金屬墊片密封連接(雙端內(nèi)螺紋 UJR 型)
最大工作壓力:1.0 MPa
工作溫度范圍:-10℃ 至 80℃(在0.89 MPa下最高可達(dá)100℃,具體取決于系統(tǒng)選配)
泄漏率測(cè)試:全量進(jìn)行氦氣檢漏測(cè)試(Helium Leak Tested)
潔凈度等級(jí):完全無油空凈處理(Completely Oil Free)
適用介質(zhì):特種材料氣體(高純/特氣)、高真空系統(tǒng)
重量信息:約 0.35 kg(標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)及本體總重)
富士金(Fujikin)作為全球半導(dǎo)體、光電子及超高純流體控制領(lǐng)域的標(biāo)桿企業(yè),其研發(fā)的 NEW MEGA 系列氣動(dòng)截止型金屬隔膜閥在行業(yè)內(nèi)享有盛譽(yù)。本次推薦的 NFPR-ND-71-6.35-2 型號(hào),是一款專為特殊工藝氣體、超高純凈度氣體及高真空流體控制系統(tǒng)量身打造的高端氣動(dòng)金屬隔膜閥。該產(chǎn)品憑借其嚴(yán)苛的制造工藝和卓越的物理特性,在半導(dǎo)體制造、微電子、精密化工、公共實(shí)驗(yàn)室、新能源、生物醫(yī)藥以及生命科學(xué)等高精尖行業(yè)中得到了極其廣泛的應(yīng)用。
從物理性能與材料選擇來看,NFPR-ND-71-6.35-2 在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上實(shí)現(xiàn)了流道的極致優(yōu)化。其主體核心部件采用超高純度的雙熔煉 SUS316L 不銹鋼材質(zhì)。這種材料具備極強(qiáng)的抗腐蝕性與耐磨損性,能夠有效抵抗各種高腐蝕性特種氣體的侵蝕,從源頭上杜絕了金屬離子對(duì)工藝介質(zhì)的污染。閥座部分則采用了高密度的 PCTFE 材質(zhì),不僅保證了閥門在頻繁啟閉交變應(yīng)力下的優(yōu)異耐磨性,更提供了零泄漏的嚴(yán)密軟密封效果。閥門整體內(nèi)部經(jīng)過了完全無油(Completely Oil Free)的潔凈處理,可完全滿足特氣系統(tǒng)對(duì)顆粒控制和微量雜質(zhì)控制的嚴(yán)苛指標(biāo)。
從技術(shù)參數(shù)與應(yīng)用場(chǎng)景分析,該閥門的通徑規(guī)格為標(biāo)準(zhǔn)的 6.35mm(即 1/4 英寸 OD 管道),擁有高達(dá) 0.3 的流量系數(shù)(Cv 值),在同等規(guī)格的微型氣動(dòng)隔膜閥中具有優(yōu)異的流通能力。其額定最大工作壓力為 1.0 MPa,工作溫度跨度為 -10℃ 至 80℃。在實(shí)際極端工況下,根據(jù)官方壓力溫度曲線圖表,系統(tǒng)在 100℃ 時(shí)仍可穩(wěn)定維持 0.89 MPa 的耐壓表現(xiàn)。連接端部采用了雙端內(nèi)螺紋的金屬墊片密封(Female UJR)形式,這種高可靠性的面密封連接方式能夠確保管道系統(tǒng)在超高真空或高壓氣體交替運(yùn)行的環(huán)境下依舊保持長效緊密,防止外界空氣滲入或內(nèi)部有害特氣外泄。每一臺(tái)出廠的閥門均經(jīng)過極其嚴(yán)苛的氦氣質(zhì)譜檢漏儀測(cè)試,確保整體外部泄漏率與閥座泄漏率均達(dá)到超高標(biāo)準(zhǔn)。
在行業(yè)集成應(yīng)用與同類替代方面,富士金的 ND-71 系列憑借氣動(dòng)常閉(Normally Closed)的高安全系數(shù)構(gòu)造,在自動(dòng)化控制網(wǎng)絡(luò)中常作為緊急切斷閥或精密配氣閥使用。其氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)反應(yīng)迅捷、動(dòng)作平穩(wěn),機(jī)械壽命長達(dá)數(shù)百萬次,大幅降低了晶圓廠和特氣盤(VMB/Gas Box)的整體維護(hù)成本。為了滿足不同管路設(shè)計(jì)及特殊介質(zhì)的控制需求,該系列還衍生出了多種不同接口、規(guī)格以及閥座配置的類似型號(hào)。
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