品牌:美國(guó)英特格(ENTEGRIS)
產(chǎn)品品類(lèi):ProcessGard PL Half Dove Tail 液體過(guò)濾器外殼 / 濾筒外殼
產(chǎn)品型號(hào):YY260103N
主體材質(zhì):SUS316L 高純度不銹鋼(封頭、筒體、排氣閥、排液閥、栓塞等組件)
夾箍材質(zhì):等效 304 不銹鋼
表面處理:內(nèi)表面高精密電拋光(Electropolishing);外表面 Buff #400 拋光
進(jìn)出口規(guī)格:3/4 英寸(3/4" Inlet / Outlet)
接頭形式:NPT 螺紋接頭(NPT Fitting)
適用濾芯長(zhǎng)度:5 英寸(5" Cartridge)
濾芯接口代碼:Code 0 接口(雙 O 型圈扁尾或特定半燕尾套件規(guī)格)
密封圈材質(zhì):G-145 EPDM(三元乙丙橡膠,可根據(jù)工藝介質(zhì)選配其他材質(zhì))
最高操作壓力:1.5 MPa @ 80°C(靜態(tài)最高工作壓力指標(biāo))
重量信息:約 2450 g(純金屬本體及高強(qiáng)夾箍組件總重,不含內(nèi)部濾芯)
美國(guó)英特格(ENTEGRIS)YY260103N 是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體超凈制程、精細(xì)化工、生命科學(xué)及高性能微電子濕法工藝設(shè)計(jì)的高純度不銹鋼液體過(guò)濾器外殼。該產(chǎn)品作為 ProcessGard PL Half Dove Tail 系列的核心構(gòu)件,在材質(zhì)選用、表面處理及流道幾何設(shè)計(jì)上均遵循了極為嚴(yán)苛的國(guó)際工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。其主體封頭與核心筒體全部由 SUS316L 超低碳不銹鋼鍛造或厚壁管材加工而成。這種材質(zhì)不僅天然具備極佳的耐腐蝕性和抗化學(xué)品侵蝕能力,而且在長(zhǎng)期輸送去離子水、高純有機(jī)溶劑或特定弱酸弱堿介質(zhì)時(shí),能表現(xiàn)出微乎其微的金屬離子釋出率。為了在根本上消除微粒滯留與細(xì)菌滋生的隱患,外殼內(nèi)部表面經(jīng)過(guò)了高規(guī)格的電拋光處理,流道死角被壓縮至物理極限。外部則采用 400 目的高精機(jī)械拋光。這種內(nèi)外兼修的表面處理工藝,全方位保證了工藝流體在濾殼內(nèi)部的極速順暢流通,進(jìn)而為高潔凈度物料的精密過(guò)濾提供了非常堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)屏障。
從廣泛的行業(yè)應(yīng)用表現(xiàn)與關(guān)鍵的技術(shù)性能來(lái)看,YY260103N 濾殼在半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備、濕法刻蝕顯影機(jī)配給線、高精密數(shù)控噴墨墨水過(guò)濾、實(shí)驗(yàn)室超純水終端以及光刻膠輔助化學(xué)品輸送系統(tǒng)中發(fā)揮著不可替代的中流砥柱作用。在高度集約化的半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品(Wet Chemicals)輸送管路中,該濾殼憑借 3/4 英寸的標(biāo)準(zhǔn) NPT 螺紋接頭,能夠極其簡(jiǎn)便且氣密地嵌入到現(xiàn)有的硬質(zhì)或柔性管路系統(tǒng)之中。得益于其高達(dá) 1.5 MPa 額定靜態(tài)操作壓力的機(jī)械硬度儲(chǔ)備,外殼能夠在長(zhǎng)期經(jīng)受泵浦周期性流體脈沖、壓力瞬變以及高達(dá) 80 攝氏度的高溫物料清洗時(shí),始終保持不發(fā)生任何微量滲漏或結(jié)構(gòu)變形。快開(kāi)式的等效 304 不銹鋼強(qiáng)力夾箍設(shè)計(jì),使得現(xiàn)場(chǎng)操作人員在進(jìn)行濾芯周期性更換時(shí),無(wú)需借助復(fù)雜的重型機(jī)械工具。這不僅能將核心產(chǎn)線的停機(jī)維護(hù)時(shí)間縮短至數(shù)分鐘以?xún)?nèi),更顯著降低了在更換耗材過(guò)程中工藝回路遭受外部大氣的二次交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。
在實(shí)際的工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)與集成物料匹配中,YY260103N 通常需要與英特格原廠或同等規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)的 5 英寸 Code 0 接口高精密濾芯進(jìn)行組合匹配,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)流體中微米乃至納米級(jí)顆粒物的絕對(duì)截留。如果設(shè)備工程師在盤(pán)面布局時(shí)遇到了特殊的安裝空間限制,或者由于流體流速的變化需要不同規(guī)格的承載能力,英特格旗下也建立了極其龐大且互補(bǔ)的不銹鋼和特種氟塑料(Fluoropolymer)濾殼矩陣。例如,在處理腐蝕性極強(qiáng)的高濃度強(qiáng)酸、強(qiáng)堿(如熱磷酸、氫氟酸或 SPM 混合液)時(shí),用戶(hù)可對(duì)標(biāo)選擇全氟代烷氧基烷烴材質(zhì)的 PFA 系列濾殼;而對(duì)于需要更大流通量、更長(zhǎng)工藝周期或不同管路連接規(guī)格的金屬濾殼場(chǎng)景,同系列內(nèi)則配有長(zhǎng)達(dá) 10 英寸的 YY260103V、長(zhǎng)達(dá) 20 英寸的 YY260203N、以及進(jìn)出口徑擴(kuò)展至 1 英寸的 YY260104N 等豐富的產(chǎn)品變體。YY260103N 憑借成熟的金屬表面鈍化工藝、極高的結(jié)構(gòu)安全余量以及優(yōu)秀的流體動(dòng)力學(xué)適配性,能夠全面無(wú)縫兼容各類(lèi)高端工業(yè)自動(dòng)化控制流體回路,是半導(dǎo)體及高科技制造業(yè)升級(jí)制程良率的理想硬件選擇。
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