品牌：Entegris（英特格）
型號：WG2F15HJJ6
產品系列：Wafergard II F-1500
接頭尺寸：3/4" 對焊管（Butt weld tube）
總長度：295.0 mm（11.60"）
濾膜材質：高純聚四氟乙烯（PTFE）膜
殼體材質：316L不銹鋼（內壁經0.25 μm Ra電解拋光）
顆粒截留率：在額定流量下可去除大顆粒，截留率大于99.9999999%（9 LRV）
最高工作溫度：120°C（248°F）
額定流量：1500 slpm
產品重量：約1.85 kg
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Entegris英特格在線氣體過濾器是高純氣體系統過濾的核心組件，在超純氣輸送與分配中發揮著重要作用。在半導體、微電子以及高精尖光電制造行業中，制程氣體的潔凈度直接決定了晶圓的良品率和最終器件的可靠性。隨著制程節點的不斷縮小，對于氣體中微小顆粒物的控制要求已經達到了近乎嚴苛的地步。本款產品作為Wafergard II F-1500系列中的典型代表，依托其優異的結構設計與材質選擇，能夠滿足大規模超純氣體分配系統（如大宗氣體機房、閥門箱及主管道等）在復雜和苛刻工藝環境下的長時間平穩運行，同時與各類高腐蝕性、高活性和惰性氣體表現出極佳的相容性。
在產品性能方面，該氣體過濾器采用了先進的聚四氟乙烯（PTFE）濾膜。這種復合結構的特種PTFE濾膜不僅具有致密而均勻的孔隙結構，能夠在高氣流量通過時維持較低的壓力降，大幅減少因壓差過大導致低蒸氣壓氣體發生冷凝的風險。殼體部分則選用高規格的316L不銹鋼材料，其內部表面經過了嚴格的電解拋光工藝處理，粗糙度可控制在0.25微米以內。這種鏡面級別的內壁處理能有效減少表面死角與顆粒滯留，極大地降低了金屬材質本身的釋氣性以及微量雜質的溶出。此外，該產品在出廠前均在百級潔凈室環境中完成真空烘烤，并采用雙層高潔凈真空袋進行密封包裝，確保用戶開箱即用，避免了二次污染的發生。
從整個半導體行業的配套選型來看，高流量在線過濾器通常需要兼顧大流量與長壽命。在氣體分配面板或氣體大宗系統（BSGS）中，過濾器不僅要承受頻繁的系統壓力波動，還需在連續的高負荷通氣下保持結構完整。通過精密的焊接工藝，該產品的外部殼體被一體化密封，使整體結構具備極強的耐壓和抗動態沖擊能力。在同類工藝方案中，推薦用戶在不同的管路節點搭配不同的規格型號。例如，在進氣支路或流量要求相對稍小的位置，可以配套使用同系列1/2英寸規格的對焊管過濾器或帶墊圈密封（如VCR接頭）的型號，從而在保證整線純凈度的前提下，實現靈活、經濟的模塊化管路配置。
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