品牌：Entegris（美國(guó)英特格）
型號(hào)：WGFGMBRR2
品類：Wafergard? SG Max In-line Gas Filters（高流量特氣在線氣體過(guò)濾器）
濾膜材質(zhì)：高純聚四氟乙烯膜（PTFE Membrane）與 PFA 支撐結(jié)構(gòu)
外殼及接頭材質(zhì)：316L 不銹鋼（316L Stainless Steel）
表面處理工藝：內(nèi)表面經(jīng)電拋光處理，粗糙度 Ra ≤ 0.25 μm (10 μin Ra)
進(jìn)出口接頭規(guī)格：1/4" VCR? 陽(yáng)性墊片密封接頭（1/4" VCR male fitting）
最大工作流量：可支持高達(dá) 1000 slpm（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）的高流量純化過(guò)濾
過(guò)濾精度：對(duì)直徑大于或等于 0.003 μm（3納米）的微小顆粒去除率 ≥ 99.9999999%（9個(gè)9級(jí)）
最大工作壓力：常規(guī)配置下最大允許工作壓力達(dá) 1.0 MPa
最高工作溫度：在惰性及特殊工藝氣體中最高可耐受 120°C (248°F)
適用氣體介質(zhì)：高純特殊工藝氣體（高毒/腐蝕性特氣）、惰性氣體及 CDA（潔凈壓縮空氣），除F2外
重量信息：約 0.42 kg（緊湊型厚壁全金屬抗壓外殼，含標(biāo)準(zhǔn)出貨雙層潔凈包裝總重約 0.58 kg）
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美國(guó) Entegris（英特格）作為全球微電子及半導(dǎo)體先進(jìn)制程流體凈化領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，其生產(chǎn)的 Wafergard? 系列過(guò)濾器在業(yè)內(nèi)被視為高純氣體顆粒控制的黃金標(biāo)準(zhǔn)。型號(hào) WGFGMBRR2 隸屬于其 Wafergard? SG Max 高流量氣體過(guò)濾器家族，是專門針對(duì)半導(dǎo)體前道工藝、大尺寸平板顯示器（FPD）制造以及高效太陽(yáng)能光伏（PV）薄膜沉積系統(tǒng)所設(shè)計(jì)的大通量、超高凈化級(jí)在線過(guò)濾元件。在現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，特殊工藝氣體（特氣）的輸送純度直接決定了晶圓的化學(xué)反應(yīng)質(zhì)量和最終電子器件的成品率。微量粒子一旦隨特氣進(jìn)入反應(yīng)腔，會(huì)在高密度集成電路的細(xì)微線條間造成嚴(yán)重的短路或斷路缺陷，而 WGFGMBRR2 的核心使命就是構(gòu)建一道牢不可破的粒子攔截屏障。
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從產(chǎn)品性能與核心過(guò)濾技術(shù)來(lái)看，WGFGMBRR2 搭載了英特格引以為傲的超高密度聚四氟乙烯（PTFE）材質(zhì)濾膜，并配以化學(xué)穩(wěn)定性極佳的可熔性聚四氟乙烯（PFA）骨架作為內(nèi)部支撐。這種復(fù)合分子結(jié)構(gòu)賦予了該濾芯近乎完美的化學(xué)兼容性，能夠長(zhǎng)期抵御半導(dǎo)體生產(chǎn)中常見的各類酸堿性、強(qiáng)還原性、強(qiáng)氧化性及高毒性特殊氣體的沖刷，在極端嚴(yán)苛的工藝介質(zhì)中亦不會(huì)發(fā)生降解。在過(guò)濾表現(xiàn)方面，該型號(hào)表現(xiàn)出了令人矚目的超高除粒子效能：在推薦的最大流量工況下，它針對(duì)氣流中所有直徑大于或等于 0.003 微米（即3納米）的極其細(xì)微的固體顆粒及懸浮微塵，其物理及電荷攔截去除效率達(dá)到了 99.9999999%（即行業(yè)頂級(jí)的“9個(gè)9”過(guò)濾水準(zhǔn)）。這意味著通過(guò)過(guò)濾器的工藝氣體幾乎達(dá)到了絕對(duì)無(wú)塵的極限狀態(tài)，為下游高精細(xì)工藝提供了極其可靠的工藝窗口保護(hù)。
在硬件參數(shù)與材質(zhì)工藝層面，WGFGMBRR2 充分體現(xiàn)了英特格在精密機(jī)械加工上的深厚造詣。該過(guò)濾器通體外殼采用超高純度 316L 不銹鋼精鍛而成，內(nèi)部氣體流道過(guò)流表面全部經(jīng)過(guò)嚴(yán)苛的電拋光（Electropolished）工藝處理，其內(nèi)表面粗糙度 Ra 值被死死壓在 0.25 微米（10微英寸）以內(nèi)。這種鏡面級(jí)別的內(nèi)壁不僅可以有效防止流體在流經(jīng)時(shí)產(chǎn)生紊流死角，還最大程度降低了高活潑性特殊氣體分子在金屬表面的物理吸附與滯留，從而縮短了系統(tǒng)在更換氣體或保養(yǎng)時(shí)的抽空脫氣時(shí)間（Drydown Time）。接口規(guī)格上，該型號(hào)兩端配置了標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體高密封性管道最常用的 1/4 英寸 VCR 陽(yáng)性墊片密封接頭，保證了即使在持續(xù)受壓、熱脹冷縮的高低溫交替循環(huán)中，接口處的氦氣檢漏率依然能保持在極高安全標(biāo)準(zhǔn)。在溫壓控制上，它最大可承受高壓管道輸送需求，且在高達(dá) 120 攝氏度的高溫工況下仍能穩(wěn)定履行過(guò)濾職能。
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在行業(yè)應(yīng)用與多型號(hào)協(xié)同選型方面，WGFGMBRR2 的超高流量承載能力使其在大宗特氣供氣系統(tǒng)、廠務(wù)端（Hook-up）管道、閥門箱（VMB）以及半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部的大流量吹掃與氣簾系統(tǒng)中得到了廣泛部署。其單體可支持高達(dá) 1000 slpm 的瞬時(shí)過(guò)流量，這使得生產(chǎn)線在進(jìn)行大體積工藝腔體氣體填充或長(zhǎng)距離管路輸送時(shí)，完全不會(huì)因?yàn)榇?lián)了過(guò)濾器而出現(xiàn)顯著的壓力驟降（Pressure Drop），從而完美兼顧了超高潔凈度與高產(chǎn)出率（Throughput）。在實(shí)際建廠或設(shè)備 OBM 選型中，若是針對(duì)管徑更大的氣體輸送主干道，工藝工程師常常會(huì)搭配或升級(jí)選擇采用 1/2 英寸 VCR 接頭的同系列型號(hào) WGFGMBRR4；而針對(duì)空間極其狹隘、流量要求中等的機(jī)臺(tái)內(nèi)部微環(huán)境，則通常會(huì)配合選用不銹鋼濾膜或尺寸更緊湊的 Wafergard? II F-6 系列或微型 Wafergard? SG F Micro 等組件（例如 WGFGMBSS2 或 WGFGMBSS4）。這種互補(bǔ)的模塊化選型策略，幫助晶圓廠實(shí)現(xiàn)了從氣體大宗源頭到最終工藝反應(yīng)端點(diǎn)（POU）的全流程無(wú)縫潔凈控制。
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