產品參數
品牌：Entegris (英特格)
系列：Gasketgard 固態管線內線墊片過濾器系列
完整型號：WGPM0GGG2
接頭尺寸與規格：1/4" VCR 密封墊片形式
全長尺寸：25.0 毫米 (0.98 英寸)
最大工作壓力：高達 20.0 MPa (約 2900 psig / 200 bar)
顆粒截留效率：對于直徑不小于 0.01 微米 (10 納米) 的超細微顆粒，過濾效率不低于 99.9999999%
適用介質：超高純度氮氣、氬氣、氧氣、氫氣、氦氣等半導體級別特殊工藝氣體
基質材料：全金屬耐高溫高壓機械構造
密封過濾膜材：全金屬燒結多孔微米級不銹鋼濾材
工作溫度區間：允許工作的極端環境溫度范圍上限可達到 400 ℃
系統壓降表現：在高流速狀態下保持低且穩定的初始壓降曲線
潔凈處理等級：出廠前經過 10 級超凈間超純去離子水清洗及高純氮氣精密烘干封裝
安裝形式：自帶卡圈固定結構，支持插入標準 VCR 氣路接頭卡槽中
接口類型：不銹鋼軸向密封墊片式濾芯
產品凈重：約 0.012 kg
包裝總重：約 0.045 kg (含高純氮氣雙層防靜電真空保護袋與防擠壓泡殼)
Entegris WGPM0GGG2 是一款專門針對半導體前道晶圓制造、光電面板刻蝕、LED 外延片生長等先進制程氣路系統而開發的高精密全金屬內線墊片式過濾器。在現代半導體高潔凈度工藝管路中，微量納米級物料顆粒以及隨管路震動剝落的金屬微屑會對芯片的電學良率和表面物理平整度帶來嚴重的破壞。該款過濾器采用革命性的固態一體化物理包裝設計，能夠直接取代標準的 1/4 英寸 VCR 氣路密封墊片，在不額外改變和占用現有精密氣路面板空間的前提下，提供持續高效的終端微粒截留屏障，協助整個氣動控制網絡平穩運行。
在核心材料與物理性能方面，WGPM0GGG2 展現出了極佳的抗化學腐蝕能力與極端熱力學穩定性。其核心過濾介質摒棄了常規過濾耗材中可能引入二次污染的各種有機粘結劑或樹脂成分，完全由高純度不銹鋼微孔燒結濾膜構成。這種全金屬的微觀多孔編織結構不僅能夠承受高達 400 ℃ 的持續高溫烘烤，還可以在 20 MPa 的超高工作應力下保持物理形態不發生形變。得益于英特格原廠出色的多層深度過濾技術，該濾芯能夠針對直徑僅為 0.01 微米的懸浮超細顆粒物提供近乎完美的捕獲效果。同時，其內部經過優化的三維流道分布設計，有效增加了單位面積的有效流通氣體通量，成功降低了高流速高密度氣體穿透濾網時產生的局部突發性瞬態壓降，確保了下游反應腔體內部的氣壓平衡。
在行業應用和系統維護方面，該產品被廣泛集成于電子級特殊氣柜（Gas Box）、氣路分配面板（VMB）、物理氣相沉積（PVD）設備、化學氣相沉積（CVD）工藝線以及各種精密質子注入機的核心工藝氣體供氣段。由于其外形尺寸高度契合 1/4 英寸的 VCR 規格，并且自帶定位卡圈（Retainer），現場設備操作與裝配工程師在進行定期的生產線管路耗材更換維護時，無需切斷或拆卸復雜的管線法蘭，即可像更換普通密封墊片一樣將其輕松塞入現有的標準氣體控制面板內。這大幅縮短了因濾芯堵塞造成的晶圓廠設備停機時間，并防止了由于反復裝拆管路導致的二次大氣微塵污染入侵，為先進制程設備構筑了可靠的終端防護層。
針對不同流速條件以及化學特性各異的電子級腐蝕性、毒性氣體，英特格原廠在 Gasketgard 系列產品框架內提供了非常完備的延伸與備件選型梯隊。如果現場的配氣控制面板采用了更大通徑的管道系統（例如主流的 3/8 英寸或 1/2 英寸 VCR 氣體卡槽），用戶無需進行管路縮徑改造，可以直接平替升級選用同系列中尺寸更寬的 WGPM0GGT4 或是 WGPM0GGT2 系列大流量墊片式濾芯。而針對某些存在強酸、強堿或超強氟化腐蝕的特種刻蝕洗滌氣體管線，原廠也推薦搭配使用全鎳材料制造的超強耐蝕系列（如 WGFGMBRR4），在維持相同氣體顆粒阻隔特性的基礎上，徹底消除由于化學相互反應引起的基質金屬陽離子析出風險，為晶圓廠的超凈氣體供應線提供全方位的技術支撐。
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGPM0GGS2
WGPM0GGS4
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS2
WGMXMBSS3
WGMXMBSS4
WGMXMPRR2
WGMXMPSS2
WGMXMPSS4
WGFGMBSS4
WGFGMBSS2
WGFGMBRR2
WGFGT1SS1
WGFGT1RR1
WGSTH1SS2
WGSTH1RR2
WGSVM1SS2
WGSVM1RR2
WGMXN0RR2
WGMXN0SS2
WGMXN0RR4
WGMXN0SS4
WGMXP0RR2
WGMXP0SS2
WGMXP0RR4
WGMXP0SS4
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
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SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
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SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
SI5BGLTE05
SI2N0025B
SI2N0050B
SI2N0200BRR8
SI5BGLTE03
SI5BGLTE02
WGSTH1SS4
WGSTH1RR4
WGSVM1SS4
WGSVM1RR4
WGFGMRR41
WGFGMSS41
WGFGMRR21
WGFGMSS21
WGPM0GSS2
WGPM0GSS4
WGPST1SS2
WGPST1RR2
WGPSV1SS2
WGPSV1RR2
WGSTX1SS2
WGSTX1RR2
WGSVX1SS2
WGSVX1RR2
WGFGT1SS2
WGFGT1RR2
WGFGT1SS4
WGFGT1RR4
WGSTX1SS4
WGSTX1RR4
WGSVX1SS4
WGSVX1RR4
WGMXN1RR2
WGMXN1SS2
WGMXN1RR4
WGMXN1SS4
WGMXP1RR2
WGMXP1SS2
WGMXP1RR4
WGMXP1SS4
WGMXM1RR2
WGMXM1SS2
WGMXM1RR4
WGMXM1SS4
WGMXM0RR2
WGMXM0SS2
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WGSTH0SS2
WGSTH0RR2
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WGSVM0RR2
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WGSVM0SS4
WGSVM0RR4
WGPST0SS2
WGPST0RR2
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WGPSV0RR2
WGPST0SS4
WGPST0RR4
WGPSV0SS4
WGPSV0RR4
WGPST1SS4
WGPST1RR4
WGPSV1SS4
WGPSV1RR4
WGSTX0SS2
WGSTX0RR2
WGSVX0SS2
WGSVX0RR2
WGSTX0SS4
WGSTX0RR4
WGSVX0SS4
WGSVX0RR4