- 品牌：英特格 (Entegris / 前身包含 Mykrolis)
- 系列：Wafergard? MAX In-line Gas Filters 系列
- 完整型號：WGMXMBRR2
- 性能級別：Bronze 青銅級高流量設計
- 設備品類：超高純在線式（In-line）特種氣體膜過濾器
- 濾芯材質：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 過濾膜介質
- 支撐結構材質：全氟烷氧基烷烴 (PFA) 支撐骨架
- 外殼材質：高品位 316L 不銹鋼 (內表面經過高潔凈精密電磁拋光處理)
- 接口規格：1/4 英寸墊片密封接口（完全兼容標準 VCR 密封接頭形式）
- 接口形式：公頭輸入 / 公頭輸出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
- 顆粒濾除能力：在氣體流量中可有效攔截并去除直徑大于或等于 0.0015 微米 (1.5 納米 / μm) 的超細微懸浮顆粒物，攔截率達到國際領先水平
- 最大工作壓力：依據超高純氣路設計規范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar / 3000 psi) 連續管路系統壓力
- 工作溫度范圍：連續運行工況下最高支持 120°C (248°F) 的系統環境溫度
- 氦氣檢漏率：整體漏率小于 1 x 10^-10 Pa·m3/sec，具有極佳的密封氣密性
- 產品重量信息：約 0.35 kg (不含保護端蓋及外層真空包裝)
英特格（Entegris）推出的 Wafergard? MAX 系列在線式超高純氣體過濾器（官方專屬定制型號：WGMXMBRR2）是一款面向半導體前道晶圓加工、先進集成電路制造、光伏太陽能電池片生產以及各類精密電子化學品氣路系統研發的尖端級管路過濾攔截組件。在現代精密微電子工藝中，由于芯片線寬的不斷縮小，氣路輸送管道內部所附著的極其微小的金屬粉塵、機械閥門磨損碎屑以及由于冷熱變動產生的管壁脫落顆粒，都極易成為破壞晶圓表面電路拓撲結構的致命元兇。為了給光刻、刻蝕、化學氣相沉積（CVD）及原子層沉積（ALD）等高價值核心工藝艙體提供長久、穩定的純凈氣體環境，該設備在繼承了英特格半導體純化技術平臺的基礎之上，通過一體化全焊接工藝以及緊湊的直通（In-line）物理結構，完美解決了氣體控制面板（Gas Box）、閥門分配箱（VMB）以及高純氣柜（Gas Cabinet）等設備內部極其嚴苛的空間布局限制。
在核心性能和材質表現上，WGMXMBRR2 展現出了材料化學惰性與極強物理過濾能力的緊密結合。其內部過濾核心采用耐腐蝕性及熱穩定性均表現突出的聚四氟乙烯（PTFE）高密度微孔膜介質，并輔以全氟烷氧基烷烴（PFA）提供堅固的內部網目支撐。過濾器外部殼體則選用內部經過嚴格電解拋光工藝的高品味 316L 不銹鋼。這種配置使得該過濾器在面對各種高活性、強腐蝕性的工藝反應氣體（如鹵族氣體、酸性氣體等）、高純不活性氣體、甚至強氧化性的臭氧（O3）時，均能維持出色的抗腐蝕表現。與此同時，其在長期大流量氣流的沖刷下，依然擁有極低的微量金屬離子釋出和極低的氣體析出特性。根據權威半導體制程測試標準認證，WGMXMBRR2 能夠高效消除流動氣源中直徑低至 0.0015 微米（即 1.5 納米）以上的微細顆粒物，為精密氣路提供穩固的防護。為了確保產品處于隨時可用的開機狀態，每一只設備在出廠前都經歷過深度的原廠潔凈烘烤與充氮無塵包裝，使得用戶在完成管路接駁后能夠迅速讓氣路達到工藝平衡，縮短了晶圓廠精密機臺的調試周期。
在行業適用性與系統集成層面上，該過濾器屬于 Bronze（青銅級）性能定位，專為高流量與超低壓差應用而開發。它配備了標準半導體氣路所通用的 1/4 英寸 VCR 金屬墊片密封公頭接口（Male to Male 接頭），整體外形長度設計與早期英特格常規過濾器保持一致。這意味著設備工程師在對現有閥門面板進行技術升級或濾芯更換時，可以直接進行同尺寸原位替代，無需改動任何管線和硬件底座。由于其出色的內部流道優化設計，當特殊氣體以大吞吐量經過濾膜時，過濾器能夠將內部壓降控制在合理范圍內，避免了產生明顯的節流效應對下游 MFC（質量流量控制器）的控制精度造成干擾。在實際的工業分布式超高純氣體輸送網絡中，由于不同制程段和工藝節點的管徑、流速、壓力存在差異，該型號除了單獨應用外，也常常與同系列 1/2 英寸規格的 WGMXMBRR4 過濾器，或者主干道大流量用的 Wafergard SG MAX 系列、全金屬燒結介質的 WG2F02RR2 等相關型號構成多級互補的氣體過濾與純化方案。這種協同工作方式從主供氣源頭到最終的機臺點（Point-of-Use）構筑起了嚴密的數據安全和良率保護傘，是各大半導體 OEM 制造大廠、特種氣體集成商用以防止晶圓次品和提升產品良率的重要基礎性保障。
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGMXMBRR4
WGMXMBSS2
WGMXMBSS3
WGMXMBSS4
WGMXMPRR2
WGMXMPRR4
WGMXMPSS2
WGMXMPSS3
WGMXMPSS4
WGMXMPSV2
WGMXMPSV3
WGMXMPSV4
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F32PS1
WGFGT1PR1
WG2FT1RR2
WG2F15HJJ6
WGLMMPRR4
WGLMMPSS4
LGMXFPRR4
SI2N0025R
WGPF01RR1
WGNF01RR1
WGBF01RR1
CE2004VCR4
CE3004VCR4
CE4004VCR4
CE5004VCR4
WGLMMPRR2
WGLMMPSS2
WGLMMPSV2
WGLMMPSV4
WGMINIPR1
WGMINIPS1
WGMINIRR1
WGMINIRS1
WG2F02PS1
WG2F02RS1
WG2F32RR1
WGLF01RR1
WGLF01SS1
WGLF02RR1
WGLF02SS1
WGLF02VV1
WGMF01RR1
WGMF01SS1
WGMF02RR1
WGMF02SS1
WGWF01RR1
WGWF01SS1
WGWF02RR1
WGWF02SS1
WGWF32RR1
WGWF32SS1
WGWF52RR1
WGWF52SS1
WGSTMPRR4
WGSTMPSS4
WGPF02RR1
WGPF02SS1
WGPF32RR1
WGPF32SS1
WGPF52RR1
WGPF52SS1
WGUPF1RR1
WGUPF1SS1
WGUPF2RR1
WGUPF2SS1
WGUPF3RR1
WGUPF3SS1
WGNF02RR1
WGNF02SS1
WGNF32RR1
WGNF32SS1
WGNF52RR1
WGNF52SS1
WGBF02RR1
WGBF02SS1
WGBF32RR1
WGBF32SS1
WGBF52RR1
WGBF52SS1
WGCF01RR1
WGCF01SS1
WGCF02RR1
WGCF02SS1
WGCF32RR1
WGCF32SS1
WGCF52RR1
WGCF52SS1
WGDF01RR1
WGDF01SS1
WGDF02RR1
WGDF02SS1
WGDF32RR1
WGDF32SS1
WGDF52RR1
WGDF52SS1
WGEF01RR1
WGEF01SS1
WGEF02RR1
WGEF02SS1
WGEF32RR1
WGEF32SS1
WGEF52RR1
WGEF52SS1
WGFF01RR1
WGFF01SS1
WGFF02RR1
WGFF02SS1
WGFF32RR1
WGFF32SS1
WGFF52RR1
WGFF52SS1
WGHF01RR1
WGHF01SS1
WGHF02RR1
WGHF02SS1
WGHF32RR1
WGHF32SS1
WGHF52RR1
WGHF52SS1
WGJF01RR1
WGJF01SS1
WGJF02RR1
WGJF02SS1
WGJF32RR1
WGJF32SS1
WGJF52RR1
WGJF52SS1
WGKF01RR1
WGKF01SS1
WGKF02RR1
WGKF02SS1
WGKF32RR1
WGKF32SS1
WGKF52RR1
WGKF52SS1
WGLF32RR1
WGLF32SS1
WGLF52RR1
WGLF52SS1
WGMF32RR1
WGMF32SS1
WGMF52RR1
WGMF52SS1
WGNF12RR1
WGNF12SS1
WGPF12RR1
WGPF12SS1
WGRF01RR1
WGRF01SS1
WGRF02RR1
WGRF02SS1
WGRF32RR1
WGRF32SS1
WGRF52RR1
WGRF52SS1
WGSF01RR1
WGSF01SS1
WGSF02RR1
WGSF02SS1
WGSF32RR1
WGSF32SS1
WGSF52RR1
WGSF52SS1
WGTF01RR1
WGTF01SS1
WGTF02RR1
WGTF02SS1
WGTF32RR1
WGTF32SS1
WGTF52RR1
WGTF52SS1
WGVF01RR1
WGVF01SS1
WGVF02RR1
WGVF02SS1
WGVF32RR1
WGVF32SS1
WGVF52RR1
WGVF52SS1
WGXF01RR1
WGXF01SS1
WGXF02RR1
WGXF02SS1
WGXF32RR1
WGXF32SS1
WGXF52RR1
WGXF52SS1
WGYF01RR1
WGYF01SS1
WGYF02RR1
WGYF02SS1
WGYF32RR1
WGYF32SS1
WGYF52RR1
WGYF52SS1
WGZF01RR1
WGZF01SS1
WGZF02RR1
WGZF02SS1
WGZF32RR1
WGZF32SS1
WGZF52RR1
WGZF52SS1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGMBSS2
WGFGMBSS4
WGFGMPRR2
WGFGMPRR4
WGFGMPSS2
WGFGMPSS4
WGFGMPSV2
WGFGMPSV4