- 品牌：英特格 (Entegris / 曾用名 Mykrolis)
- 系列：Wafergard? MAX In-line Gas Filters 系列
- 完整型號：WGMXMSRR2
- 設備品類：超高純在線式（In-line）特種氣體過濾器
- 濾芯材質：高密度聚四氟乙烯 (PTFE) 膜介質
- 外殼材質：高品位 316L 不銹鋼 (內表面經過精密電磁拋光處理)
- 接口規格：1/4 英寸墊片密封接口（完全兼容標準 VCR 密封接頭）
- 接口形式：公頭輸入 / 公頭輸出 (Gasket Seal Male Inlet/Outlet)
- 顆粒濾除能力：可高效濾除直徑大于或等于 0.0015 微米 (μm) 的超微細顆粒物
- 最大工作壓力：依據半導體工藝規范，最高可承受 20.7 MPa (207 bar) 氣路系統壓力
- 工作溫度范圍：最高可穩定運行于 120°C (248°F) 工況環境
- 產品重量信息：約 0.32 kg
英特格（Entegris）推出的 Wafergard? MAX 系列在線式高純氣體過濾器（具體型號：WGMXMSRR2）是一款面向半導體、微電子、光伏太陽能以及精密高純材料加工行業打造的高性能氣路攔截組件。在如今線寬不斷縮小的先進制程中，任何氣路管線內部附著的微塵、管壁磨損顆粒或二次污染，都會嚴重影響晶圓表面的物理與電學結構。為了給關鍵核心工藝艙體提供清潔的氣體輸入環境，該設備在延續了該系列產品家族一貫的高潔凈結構技術平臺基礎上，采用了緊湊的一體化全焊接封裝形式，不僅滿足了緊湊型氣體控制面板（Gas Box）以及閥門分配箱（VMB）等極其苛刻的物理安裝空間限制，同時還將氣體流動中的微量污染物攔截率提升到了極佳的水平。
在核心性能表現上，該產品完美融合了極佳的材質化學惰性與超強的精細過濾網目。其內部核心濾芯采用高純度 PTFE（聚四氟乙烯）膜介質，外殼則精選經過特種電解拋光工藝處理的高品位 316L 不銹鋼。這種設計不僅賦予了過濾器面對各類特殊材料氣體（諸如各類強腐蝕性反應氣體、惰性氣體、甚至是高活性臭氧等）時卓越的抗腐蝕能力，還能在極大的氣流沖擊下始終維持超低的金屬離子和有害氣體的析出率。根據測試認證，其能夠以極高的過濾效率徹底消除氣體中直徑低至 0.0015 微米（即 1.5 納米）的超細微顆粒物。并且，通過出廠前的特殊深度烘烤與真空充氮包裝處理，產品具備即插即用、迅速達到工藝平衡的特性，極大地縮短了晶圓廠設備初次開機調試的等待時間。
在行業適用性與系統集成層面上，WGMXMSRR2 配備了 1/4 英寸的標準 VCR 金屬墊片密封公頭接口（Male Inlet/Outlet），可以非常簡便地串聯應用在化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）或原子層沉積（ALD）等前道制程設備中。其卓越的大流量低壓差設計，讓氣體在大吞吐量經過時依然能保持平穩的壓力輸出，避免產生明顯的節流效應導致氣流不穩。此外，在實際的工業多級氣體純化拓撲網絡中，該型號常與 1/2 英寸規格的 WGMXMSRR4 或全金屬材質的 WG2F02RR2 等互補型號配合，搭建在廠區氣體分配總管與機臺使用點（Point-of-Use）之間。它憑借在各種極限化學和熱穩定條件下的穩定輸出，成為了各大半導體 OEM 制造廠、氣體輸送控制系統集成商用來防止晶圓次品率、提升成品良率的可信賴之選。
以下為英特格（Entegris）Wafergard? MAX 系列及其他相關的高純氣體過濾器產品型號列表，包含多種接口規格和過濾材質的組合，適用于不同的半導體制造和特種氣體控制場景：
Wafergard? MAX系列常用型號：
WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
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WG2F02RR2, WG2F02RR4, WGFGT1PR1, WG2FT1RR2, WG2F15HJJ6, WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, LGMXFPRR4, SI2N0025R, WGPF01RR1, WGNF01RR1, WGBF01RR1, CE2004VCR4 等
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- Wafergard? MAX 系列：WGMXMSRR4, WGMXMBRR2, WGMXMBRR4, WGMXMBSS2, WGMXMBSS3, WGMXMBSS4, WGMXMPRR2, WGMXMPRR4, WGMXMPSS2, WGMXMPSS3, WGMXMPSS4, WGMXMPSV2, WGMXMPSV3, WGMXMPSV4
- WGLM 系列：WGLMMPRR4, WGLMMPSS4, WGLMMPSV4, WGLMMPRR2, WGLMMPSS2, WGLMMPSV2
- WG2F/WGMF/WGPF等系列及CE系列：包含WG2F02RR2, WG2F02RR4, WG2F32PS1, WGFGT1PR1, WGPF01RR1, CE2004VCR4等多種規格。