品牌：美國 Entegris（英特格）
型號：GPUS500FIX04R02CA
品類：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高純特種氣體凈化器
提純介質：惰性氣體（Inert Gases，如氬氣 Ar、氦氣 He、氮氣 N2、氪氣 Kr、氖氣 Ne、氙氣 Xe 等）
出口純度：可將雜質（H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十億分之一)
最大工作壓力：約 19.8 MPa (2875 psi)
最大額定流量：500 slpm（標準升/分鐘）
連接接口尺寸：1/4英寸（根據出廠管路配置，標準為高純VCR面密封接口）
外殼材質：316L不銹鋼（內壁經超精細電解拋光EP處理）
過濾精度：內置高效率金屬纖維過濾器，微粒去除能力達 0.003微米
工作溫度范圍：0℃ 至 60℃
產品重量：約 4.15 kg
主要應用：半導體集成電路外延生長、晶圓代工薄膜沉積、MOCVD工藝、面板及顯像管制造氣體純化系統
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美國Entegris（英特格）推出的Gatekeeper GPU系列超高純特種氣體凈化器（具體型號：GPUS500FIX04R02CA），是專門針對半導體芯片制造、高端微電子、光伏太陽能電池板以及LED外延工藝流體管路設計的大流量終端提純組件。在現代亞微米級以及納米級晶圓制造流程中，工藝氣體的潔凈度與純度直接決定了電子元器件的成品率。氣體中哪怕僅含有十億分之一級別（ppb級）的微量水分、氧氣、一氧化碳等雜質，也極易在硅片表面引發非故意氧化、薄膜晶格缺陷或嚴重的金屬離子沾污。本款氣態惰性介質純化設備部署在氣體分配盤、機柜或者真空腔體前端的氣路中，能穩定輸出超高純氣體，從而為精密半導體加工提供基礎的安全流體保障。
從材料選擇與核心技術參數來看，GPUS500FIX04R02CA凈化器的整體外殼和內部連接金屬管路全部精選高規格的超低碳316L不銹鋼材料。為了避免不銹鋼基底自身對工藝氣體的二次吸附、解析或者析出微小金屬雜質，該產品的內流道結構全部經過了極其嚴苛的EP（電解拋光）表面工藝處理。這大幅削減了內壁的真實物理粗糙度，有效防止了流體死區的形成與灰塵的積聚。其內部填充了專門配比研發的高活性無機金屬氧化物及物理吸附劑復合材料填料，能夠在不依賴任何外部加熱或電力供應的前提下，常溫在線清除惰性氣體介質中微量的水（H2O）、氧（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、氫氣（H2）以及各類非甲烷碳氫化合物（NMHC）。其出口純度最高能夠達到 99.9999999% 的水準，使有害微量雜質的殘留濃度控制在 1 ppb 以下。同時，該純化器殼體后端集成了高效率的微孔金屬多孔纖維過濾單元，對尺寸大于 0.003 微米（即 3 納米）的固態微粒、管道磨損顆粒物具有極高的絕對攔截濾除效率。
在系統集成與行業工程實踐中，500 slpm的額定氣體工作流量，使本產品能夠廣泛適用于半導體晶圓廠中集中供氣的管路主干分支，或者是需要多機臺并聯的大容量外延生長爐和PECVD設備供氣終端。該型號采用常溫自發催化與物理吸附的設計機制，杜絕了由于工廠意外斷電、跳閘或溫控器故障而導致的氣體純度中斷或惡化現象。該產品的承壓殼體物理結構穩固，最大可承受高達 19.8 MPa 的流體工作壓力，能夠安全適配高壓氣瓶柜組的直接減壓輸出。整體設備重量控制在 4.15 kg 左右，布局相當緊湊。為了適應半導體廠務潔凈室標準的規范，其流體輸入與輸出端均標配1/4英寸的高純VCR金屬面密封接頭，確保整個管路系統達到零泄漏的高真空漏率標準。
為了全面滿足廠區內不同流體種類、不同反應階段以及各條工藝分支管路的精細化流量匹配需求，建議配合參考同屬于Entegris Gatekeeper家族的其它規格凈化組件。如果需要更小流量的本地化單機臺或實驗室終端保護，可以選用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、輕量化設計的過濾器組合；而對于需要更廣通流能力的氣體主干線純化，則可以考慮在動力廠房部署GPUS700F、GPUS1000F或者GPUS2500F系列的大規模氣路純化設備。這些各具工藝側重點的純化模塊相互銜接，共同構筑起從源頭儲氣罐直至精密反應機臺晶圓表面之間的超高純工藝氣體安全防護鏈條。
GPUS35FIX04R02CA
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