品牌：美國 Entegris（英特格）
型號：GPUS700FYX04R02CA
品類：Gatekeeper GPU（Gas Purification Unit）超高純特種氣體凈化器
提純介質：氨氣（NH3）/ 惰性氣體/ 特種電子氣體（具體視填料配置而定，標配多用于超高純特氣提純）
出口純度：可將雜質（H2O, O2, CO, CO2, NMHC等）降至小于 1 ppb (十億分之一)
最大工作壓力：約 19.8 MPa (2875 psi)
最大額定流量：700 slpm（標準升/分鐘）
連接接口尺寸：1/4英寸 或 1/2英寸（根據出廠管路配置，標準為高純VCR面密封接口）
外殼材質：316L不銹鋼（內壁經超精細電解拋光EP處理）
過濾精度：內置高效率金屬纖維過濾器，微粒去除能力達 0.003微米
工作溫度范圍：0℃ 至 60℃
產品重量：約 4.85 kg
主要應用：半導體MOCVD、PECVD、外延生長（Epitaxy）、LED及光伏面板制造等超高純氣路終端
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美國Entegris（英特格）生產的Gatekeeper GPU系列氣體凈化器（具體型號：GPUS700FYX04R02CA）是專門應用于半導體制造、微電子加工、光伏太陽能電池板生產以及LED芯片外延生長等高尖端行業的氣體超純化控制組件。在現代集成電路制造工藝中，即使是十億分之一（ppb級別）的氣體雜質，也會直接導致晶圓氧化缺陷、線寬異常以及最終良率的大幅下滑。本款凈化器作為氣路系統的終端守護屏障，部署于氣瓶柜（BSGS/GC）、氣體分配閥門箱（VMB）與工藝反應腔室（Tool）之間，能夠以高達700 slpm的大流量，對輸送的特種工藝氣體進行在線實時深度提純。
從核心性能與工藝參數來看，GPUS700FYX04R02CA的閥體外殼以及內部流道完全采用超低碳的316L不銹鋼制造。為了防止材料自身析出微量元素或吸附氣體組分，其內部流道表面經過了極度苛刻的EP（電解拋光）工藝加工。這使得表面粗糙度降到微米級以下，有效杜絕了顆粒物的附著和金屬離子的二次污染。其內部填充了專門研發的高活性無機基質催化劑與吸附劑填料，能夠在常溫、高壓的工況下，高效清除特種氣體中夾帶的微量水分（H2O）、氧氣（O2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）以及非甲烷烴（NMHC）等雜質。經過凈化后，氣體的輸出純度可以穩定達到 99.9999999% 以上，即雜質殘留量小于 1 ppb。同時，該產品在純化段后端集成了高效率的金屬多孔纖維過濾核心，對 0.003 微米（3納米）以上的微小顆粒具有極高的攔截去除率，確保輸送到反應腔的氣體保持高潔凈度。
在行業實際部署中，700 slpm的額定流量設計使其能夠輕松應對多工藝反應臺并發用氣、或者大產能外延爐、MOCVD設備的集中供氣需求。由于其采用了特殊的無源純化機制，整個提純過程無需外部加熱或消耗電能，不僅降低了廠房配電成本，更規避了因斷電導致的氣體純度波動風險，在系統安全性和連續運行保障上表現出色。其高密封性能和堅固的外殼構造，可以安全承載高達 19.8 MPa 的工作壓力。整體重量控制在 4.85 kg 左右，外形結構緊湊，非常便于垂直或水平集成到半導體廠務的氣體控制機柜中。為了實現氣路的快速對接并保持密封零泄漏，接口標準完全匹配半導體通用的VCR高純面密封接頭。
為了更好地配合車間內不同用氣點、不同流量以及不同工藝氣體的需求，推薦參考選用同屬于Entegris Gatekeeper系列的其他規格產品。例如，針對小流量實驗室用氣環境或單臺工藝機臺終端，可配合選用GPUS35F、GPUS60F或GPUS100F等小流量、輕量化型號；而針對氣體主母管路的大流量純化，則可以考慮部署GPUS2500F或更高層級的凈化器系統。不同型號相互組合，共同構建起從氣源源頭到芯片制造核心反應區的超高純氣路防護網絡。
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