品牌：日本 KITZ SCT
型號：VLD4CS-VC-EP-316L
通道結構：2路直通式（2Ports-Straight）
公稱通徑：1/4英寸
連接類型：M-CVC（VCR公頭螺紋連接）
流量系數（Cv值）：0.27
驅動方式：氣動（常閉型 NC）
最大工作壓力：0.98 MPa
閥體材質：316L不銹鋼
閥座材質：PCTFE
表面處理：EP（電解拋光工藝）
流體溫度范圍：-10℃ 至 80℃
環境溫度范圍：-10℃ 至 60℃
產品重量：約0.35 kg（標準氣動單元組件）
適用介質：超高純度特種氣體、真空、高純蒸汽、氧氣、氮氣、氫氣等

?

本款日本KITZ SCT高純度氣動隔膜閥（型號：VLD4CS-VC-EP-316L）是專為半導體制造、光伏面板生產、液晶面板以及精細化工等行業的高純度氣體傳輸系統設計的高端控制組件。該產品基于經典的KD系列技術平臺開發，在完整繼承KD系列出色的密封性能、長壽命驅動功能和高耐久性的基礎上，通過優化內部零部件結構與加工工藝，實現了顯著的成本降低，是目前高純度特殊氣體管路系統中極具性價比的自動化控制選擇。

從核心性能來看，閥體采用了超低碳不銹鋼316L材料，具備極強的抗腐蝕能力和化學穩定性，能夠安全輸送各種具有腐蝕性或反應性的特種氣體。其閥門內部流道表面經過精密的EP（電解拋光）工藝處理，極大地降低了表面粗糙度，有效防止介質滯留和顆粒脫落，從而將氣路系統中的微粒污染（Particle）控制在極低水平，完全滿足現代半導體工藝對氣體潔凈度的苛刻要求。在閥座選材上，高品質的PCTFE（聚三氟氯乙烯）材料保證了閥門在頻繁啟閉狀態下依然具備優異的抗蠕變性與零泄漏氣密性。

在行業應用與參數設計上，該閥門采用1/4英寸的M-CVC（VCR公頭）標準連接形式，能夠與主流高純管路實現無縫焊接和雙卡套面密封對接，確保整體氣路系統在正壓或高真空工況下的高封閉性。氣動執行機構采用常閉（NC）模式，在失去控制氣源時閥門會自動切斷，保障生產線的安全性。其最大工作壓力可達0.98 MPa，Cv值穩定在0.27，不僅能提供充足的流量響應速度，還能在高頻自動控制中表現出極其精準的流體切斷表現。整體設計結構緊湊，重量控制在0.35 kg左右，有助于減輕集成氣路板（IGS）或氣體分配柜（VMB/VMP）的系統整體承重。

在同類工藝選型中，為了應對不同的安裝空間與連接需求，推薦配合參考使用同系列的VLD4CS-VFC-EP-316L（1/4英寸母頭螺紋連接）或手動控制版本的VLD4MS-VC-EP-316L（手動1/4公頭）。這些閥門廣泛應用于半導體擴散爐、PECVD、光刻機氣體供應系統以及實驗室超純氣體輸送終端，為企業升級自動化氣路、保障特殊氣體純度提供安全可靠的流體控制保障。

該型號屬于KITZ SCT的VLD4/KD4系列高純度隔膜閥家族。上述列表中展示了該系列多種規格的變體，包含不同連接方式（如VCR公頭VC、母頭VFC、卡套SC等）、控制類型（如氣動常閉NC、手動操作MS、常開NO）以及特殊要求配置（-SE、-W、-K等）。這些閥門均采用316L不銹鋼制造，設計用于半導體及高純工業領域