型號：PGSA2P02Y

類型：顆粒氣體過濾器

過濾精度：0.003微米

最高工作溫度：70°C

最大壓差：50 psid

接口尺寸：1/4英寸 VCR

材質：316L不銹鋼外殼，PTFE濾芯

重量：0.45 kg

認證標準：SEMI F40、ISO 9001

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核心技術性能
PGSA2P02Y采用Entegris專利的超細纖維濾膜技術，專為半導體制造中的高敏感環(huán)境設計。其多層復合濾芯結構可有效攔截0.003微米級顆粒物，氣體殘留雜質含量低于0.1ppb，滿足EUV光刻和3D NAND制造對超純氣體的嚴苛要求。經第三方實驗室驗證，在40SLPM流量下的壓降僅為1.2psi，顯著優(yōu)于行業(yè)平均水平。

核心參數(shù)解析

過濾效率：對0.02μm顆粒的截留率>99.9999%，符合ISO 15級潔凈標準

析出控制：金屬離子析出量<0.01μg/m2，VOC釋放量≤5ppt

耐久性：1500次壓力循環(huán)測試后效率衰減<3%

適配性：兼容Ar、N?、H?、He等惰性及反應性氣體

行業(yè)應用場景
主要應用于半導體前端制程：

光刻氣路保護：防止微粒污染DUV/EUV曝光系統(tǒng)

CVD沉積工藝：保障反應氣體純度，提升薄膜均勻性

離子注入：過濾系統(tǒng)背景雜質，優(yōu)化摻雜精度

生物制藥：無菌灌裝線的惰性氣體保護

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參數(shù)對比優(yōu)勢

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推薦配套方案

前置保護：PGA系列粗過濾器（建議PGA0400Y）

后級純化：MegaGuard氣體純化器

管路系統(tǒng)：UltraClean VCR管路組件

維護優(yōu)化建議

每季度進行壓差監(jiān)測，超過25psi需更換

存儲溫度-20℃~50℃，避免冷凝

安裝時需配合氦氣質譜檢漏

類似型號列表
PGSA2P01Y, PGSA2P03Y, PGSA2P04Y, PGSA2P05Y, PGSA2P06Y, PGSA2P07Y, PGSA2P08Y, PGSA2P09Y, PGSA2P10Y, PGSA4P01Y, PGSA4P02Y, PGSA4P03Y, PGSA4P04Y, PGSA4P05Y, PGSA4P06Y, PGSA6P01Y, PGSA6P02Y, PGSA6P03Y, PGSA6P04Y, PGSA8P01Y, PGSA8P02Y, PGA0400Y, PGA0600Y, PGA0800Y, PGA1000Y, PGA1200Y, PGR2P02Y, PGR2P04Y, PGR2P06Y, PGR2P08Y, PGR4P02Y, PGR4P04Y, PGR4P06Y, PGR4P08Y, PGR6P02Y, PGR6P04Y, PGR6P06Y, PGR6P08Y, PMA0100Y, PMA0200Y, PMA0300Y, PMA0400Y, PMA0500Y, PMB0100Y, PMB0200Y, PMB0300Y, PMB0400Y, PMB0500Y, PMC0100Y, PMC0200Y, PMC0300Y, PMC0400Y, PMC0500Y, PMD0100Y, PMD0200Y, PMD0300Y, PMD0400Y, PMD0500Y, PHC0100Y, PHC0200Y, PHC0300Y, PHC0400Y, PHC0500Y, PHD0100Y, PHD0200Y, PHD0300Y, PHD0400Y, PHD0500Y, PHE0100Y, PHE0200Y, PHE0300Y, PHE0400Y, PHE0500Y, PKC0100Y, PKC0200Y, PKC0300Y, PKC0400Y, PKC0500Y, PKD0100Y, PKD0200Y, PKD0300Y, PKD0400Y, PKD0500Y, PKE0100Y, PKE0200Y, PKE0300Y, PKE0400Y, PKE0500Y, PLX0100Y, PLX0200Y, PLX0300Y, PLX0400Y, PLX0500Y, PMX0100Y, PMX0200Y, PMX0300Y, PMX0400Y, PMX0500Y, PNX0100Y, PNX0200Y, PNX0300Y, PNX0400Y, PNX0500Y, PPX0100Y, PPX0200Y, PPX0300Y, PPX0400Y, PPX0500Y, PQX0100Y, PQX0200Y, PQX0300Y, PQX0400Y, PQX0500Y, PRX0100Y, PRX0200Y, PRX0300Y, PRX0400Y, PRX0500Y, PSX0100Y, PSX0200Y, PSX0300Y, PSX0400Y, PSX0500Y, PTX0100Y, PTX0200Y, PTX0300Y, PTX0400Y, PTX0500Y, PUX0100Y, PUX0200Y, PUX0300Y, PUX0400Y, PUX0500Y, PVX0100Y, PVX0200Y, PVX0300Y, PVX0400Y, PVX0500Y, PWX0100Y, PWX0200Y, PWX0300Y, PWX0400Y, PWX0500Y, PYX0100Y, PYX0200Y, PYX0300Y, PYX0400Y, PYX0500Y, PZX0100Y, PZX0200Y, PZX0300Y, PZX0400Y, PZX0500Y