品牌/系列：Entegris / Wafergard? SL
接口類型：1.125" C-Seal 表面貼裝接口
過(guò)濾介質(zhì)：全金屬燒結(jié)鎳（Nickel）或不銹鋼（Stainless Steel）薄膜
顆粒截留率：>99.9999999% @ 0.003 μm
最大入口壓力：34.5 bar (500 psig) @ 20°C
最大工作溫度：惰性氣體環(huán)境下最高可達(dá) 400°C (752°F)
氦氣泄漏率：經(jīng)測(cè)試最大為 1 x 10?? Pa·m3/sec
重量信息：?jiǎn)误w約 0.4-0.6 kg（含包裝，依批次略有差異）
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行業(yè)背景與核心定位
在半導(dǎo)體制造、平板顯示和光伏產(chǎn)業(yè)中，制程氣體的純度直接決定了晶圓的良率。Entegris WGSLSFC1H 作為 Wafergard? SL 系列的核心型號(hào)，專為超高純（UHP）氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它采用表面貼裝（Surface Mount）設(shè)計(jì)，符合 1.125" C-Seal 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，這種緊湊化的結(jié)構(gòu)相比傳統(tǒng)的管路連接（In-line）能顯著減少氣體面板的占用空間，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成難度。
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卓越性能與技術(shù)參數(shù)解析
極端過(guò)濾效率：該產(chǎn)品能在極高的流量下保持對(duì) 0.003 微米顆粒的極致攔截。在納米級(jí)制程中，即便是一個(gè)微小的金屬顆粒也會(huì)造成電路短路，而 WGSLSFC1H 提供的 99.9999999%（9個(gè)9）過(guò)濾保障，是行業(yè)公認(rèn)的最高安全等級(jí)。
材質(zhì)兼容性與抗腐蝕性：其濾芯采用專利燒結(jié)技術(shù)，提供鎳質(zhì)或 316L 不銹鋼材質(zhì)選項(xiàng)。這使得過(guò)濾器在處理高腐蝕性氣體（如 HCl、Cl?）或高活性氫化物氣體時(shí)，具有極佳的化學(xué)穩(wěn)定性，避免了二次污染。
超凈制造工藝：所有過(guò)濾器均在百級(jí)無(wú)塵室中進(jìn)行組裝、測(cè)試并使用雙層真空包裝。出廠前經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的脫氣處理和烘烤，確保在安裝后能迅速達(dá)到系統(tǒng)真空度要求，縮短初次啟動(dòng)時(shí)間。
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1.125" C-Seal/W-Seal 表面貼裝系列：
WGSLSFC1H, WGSLSFC1M, WGSLSFCSM, WGSLSFCPH, WGSLSFCN1, WGSLSFCN2, WGSLNFC1H, WGSLNFC1M, WGSLNFCSM, WGSLNFCPH, WGSLNFCN1, WGSLSFW1H, WGSLSFW1M, WGSLSFWPH, WGSLNFW1H, WGSLNFW1M, WGSLNFWPH, WGSLSFC1K, WGSLSFC2H, WGSLSFC2M, WGSLSFC3H, WGSLSFC4H, WGSLNFC2H, WGSLNFC3H, WGSLSFW2H, WGSLSFW3H, WGSLNFW2H, WGSLNFW3H, WGSLSFC5H, WGSLSFC6H, WGSLNFC5H, WGSLSFW5H, WGSLNFW5H... (共50個(gè))
In-Line 管路式高純系列：
WGMFS6RR1, WGMFS6VV1, WGMFS4RR1, WGMFS4VV1, WGMFN6RR1, WGMFN6VV1, WGMFN4RR1, WGMFN4VV1, WGNFS6RR1, WGNFS6VV1, WGNFS4RR1, WGNFS4VV1, WGNFN6RR1, WGNFN6VV1, WGMINS4RR, WGMINS4VV, WGMINS6RR, WGMINN4RR, WGMINN4VV, WGMINN6RR, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXN4RR, WGMAXN4VV, WGMAXN6RR, WGMAFS4RR, WGMAFS4VV, WGMAFS6RR, WGMAFN4RR, WGMAFN4VV, WGMAFN6RR... (共50個(gè))?
PTFE 介質(zhì)系列與微型系列：
WGPFS6RR1, WGPFS6VV1, WGPFS4RR1, WGPFS4VV1, WGMAXS4RR, WGMAXS4VV, WGMAXS6RR, WGMAXS6VV, WGMAXS8RR, WGMAXS8VV, WGSGFM1RR, WGSGFM1VV, WGSGFM2RR, WGSGFM2VV, WGSGFM4RR, WGSGFM4VV, WGSGFA1RR, WGSGFA1VV, WGSGFA2RR, WGSGFA2VV, WGSGFA4RR, WGSGFA4VV, WGSGFP1RR, WGSGFP1VV, WGSGFP2RR, WGSGFP2VV, WGSGFP4RR, WGSGFP4VV, WGSGFL1RR, WGSGFL1VV, WGSGFL2RR, WGSGFL2VV... (共50個(gè))?
大流量及特殊接口系列：
WGLFS4RR1, WGLFS4VV1, WGLFS6RR1, WGLFS6VV1, WGLFN4RR1, WGLFN4VV1, WGLFN6RR1, WGLFN6VV1, WGXFS4RR1, WGXFS4VV1, WGXFS6RR1, WGXFS6VV1, WGXFN4RR1, WGXFN4VV1, WGXFN6RR1, WGXFN6VV1, WGZFS4RR1, WGZFS4VV1, WGZFS6RR1, WGZFS6VV1, WGZFN4RR1, WGZFN4VV1, WGZFN6RR1, WGZFN6VV1, WGVFS4RR1, WGVFS4VV1, WGVFN4RR1, WGVFN4VV1... (共50個(gè))
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