美國 Entegris 英特格 Fluorogard? NX過濾器 CTCWT100Q0D

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這些過濾器專為腐蝕性水性化學(xué)品和溶劑而設(shè)計(jì)，為先進(jìn)的濕法蝕刻和清洗 (WEC) 應(yīng)用提供了一種經(jīng)濟(jì)高效的替代方案。

保留等級為 10 μm 至 15 nm，可去除各種酸、堿和其他工藝化學(xué)品中的顆粒。
只需最短的設(shè)置時(shí)間，從而降低先進(jìn) WEC 工藝的擁有成本
非常適合中高流量延長使用壽命的應(yīng)用
疏水膜的表面積增大，可提高流速性能并降低壓降，從而在高溫下實(shí)現(xiàn)更高的吞吐量和更高的器件產(chǎn)量
PTFE/PFA 氟樹脂材料采用熱粘合 PFA 結(jié)構(gòu)，確保出色的化學(xué)相容性，并最大限度地減少可能影響工藝性能的氯化物和金屬萃取物
經(jīng)濟(jì)高效的預(yù)濕濾芯過濾器選項(xiàng)可濕潤 0.9% 的 H2O2 ，從而允許在水性化學(xué)品中快速啟動并防止酒精與化學(xué)品發(fā)生相互作用

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Fluorogard? NX 過濾器應(yīng)用
半導(dǎo)體和顯示器市場應(yīng)用中的中高流量化學(xué)應(yīng)用
濕法蝕刻和清洗 (WEC) 應(yīng)用/單程和再循環(huán)
大宗化學(xué)品制造
散裝化學(xué)品輸送系統(tǒng)（BCDS）
腐蝕性水性化學(xué)物質(zhì)
高級溶劑
注意：Fluorogard NX 濾光片不建議用于 SPM、SC1 和 SC2 等高釋氣量解決方案。Entegris 建議在這些應(yīng)用中使用QuickChange ? NX 濾光片。

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NXT筒式過濾器
墨盒長度?? ?A（總體）?? ?B（對照組）?? ?C（肩部）
4英寸?? ?132.3 毫米（5.21 英寸）?? ?115.0 毫米（4.53 英寸）?? ?113.0 毫米（4.45 英寸）
10英寸?? ?262.3 毫米（10.33 英寸）?? ?245.0 毫米（9.65 英寸）?? ?243.0 毫米（9.57 英寸）
20英寸?? ?498.3 毫米（19.62 英寸）?? ?481.0 毫米（18.94 英寸）?? ?479.0 毫米（18.86 英寸）
30英寸?? ?738.0 毫米（29.06 英寸）?? ?721.0 毫米（28.39 英寸）?? ?719.0 毫米（28.31 英寸）
NXE 筒式過濾器
墨盒長度?? ?A（總體）?? ?B（對照組）?? ?C（肩部）
10英寸?? ?244.0 毫米（9.61 英寸）?? ?227.0 毫米（8.94 英寸）?? ?225.0 毫米（8.86 英寸）
20英寸?? ?471.0 毫米（18.54 英寸）?? ?454.0 毫米（17.87 英寸）?? ?452.0 毫米（17.80 英寸）
30英寸?? ?699.5 毫米（27.54 英寸）?? ?682.0 毫米（26.85 英寸）?? ?681.0 毫米（26.81 英寸）